
| Passu di a griglia | 20um |
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| Espansione termica | 10,6 x 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Risoluzione | 0,5-1-5 μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Ripetibilità | ±1 incrementu | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Velocità massima m/min | 60 (5 μm) ; 20 (1 μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Tipu di surtita | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Accelerazione massima | 20 m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Prutezzione | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Alimentazione elettrica | 60mA Massimu | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Spostamentu di fase | 90 ± 5 ° elettricu | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Temperatura di funziunamentu | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Temperatura di almacenamentu | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Umidità | 100% micca cundensatu |